半导体测试ATE介绍
先来介绍半导体的测试。
广义上的IC测试设备我们都称为ATE(AutomaticTest Equipment),一般由大量的测试机能集合在一起,由电脑控制来测试半导体芯片的功能性,这里面包含了软件和硬件的结合。
这要先从半导体设计和制造的流程开始讲起。
一个半导体产品要从硅原料变成晶圆再到封装好的芯片,大概经过三个行业流程:
IC设计,晶圆制造,封装。所有的芯片产品需要两个最关键的测试节点:
- 晶圆探针测试(Chip probing简称CP):ATE在这个阶段被称为探针台Prober
- 终测(Final Test 简称FT): 芯片封装完毕后进行测试
而不同的芯片类型则有不同的测试方法和要求。
芯片类型:
模拟芯片 (Analog):模拟是一个可以拉开来慢慢说的概念。简单来说,就是感知物理世界的接口。信号的特征上来说,模拟信号是连续的
数字芯片 (Digital): 使用数字信号来传递数据信息,代表如微处理器。信号特征来说,它是离散型的。如下图
混合信号芯片 (Mixed Signal) : 自然是两种信号都有,各种功能集成化。比如像DSP和SoC芯片。
存储/高速总线类芯片:这类芯片的测试项目相对更加复杂,有着自身产品特征上的特别测试需求。
测试一套芯片的系统是什么样的呢?
测试的机台(tester),loadboard (DIB)/ Probe Card (探针测试所用的PCB板卡),Handler (该设备负责抓取放置在测试槽上的被测芯片),测试软件 (根据机台类别不同有不同的语言还有模块方便工程师进行开发)
Wafer Probing
探针连接晶圆上的电路
按照测试程序层层甄别芯片内部的电路
画个Mapping图
封装芯片测试
由handler将芯片一粒粒装上不同的Loadboard,放置到测试机台上
那么测试系统一般情况是如何工作呢?
首先测试机台按照测试程序的要求生成一组信号,一般是很简单的
这一组信号共同组成了一个Test Pattern
Pattern输入到被测试的芯片中,芯片按照输入和自身的功能发射输出数值到ATE机台,机台按照预先编入的测试标准同芯片输出值进行比对。
符合则通过(Pass),反之为失败(Fail)。当然了,标准是有容差值的,不然fail一堆堆,这么严苛的通过率设计工程师估计要抓狂。不过在这个差值区间内,还可以继续做binnings测试来对产品进行分级。
最终,测试程序是通过变换不同的电压、电流和时序(timings)来测试我们的芯片,接着再进行debugging和特征(characterization)的工作。
以Memory IC为例,测试项目一般都是由DC到AC参数测试再加上功能测试(Functional Test)
DC参数测试包含了Signal Pin的Open/Short、VCC Pin Open/Short、Standby 和运行中ICC电流以及漏电等测试。
AC参数测试则主要来自TCAC (Column Access Time)Test
针对的是时序测试:Setup Time、Hold Time、Propagation Delay和时序校准
接着来看Functional Test部分
- Read Cycle
- Wrtie Cycle
- Fast Page Mode/ EDO Mode Check
- March Column/ March Row
在基础上,还可以加入专门功能测试项
- Checkboard
- Butterfly
- Diagonais
- Moving Inversion
Memory的测试有其一定的特殊性,但和其他类型芯片的测试在组成上并无二致。无外乎Contact/ Continuity Test (open/short)、DC参数测试、AC Timing Test、数字功能测试和混合信号测试。
如果继续讨论下去,就是测试程序的设计概念和Debugging的各种工具了(Datalog、Shmoo Plotting、Pattern Debugger还有各种波形工具)。光是Shmoo Plotting就可以写上10几页了吧。
测试机台通常的应用范围(欢迎讨论和帮助添加):
Memory IC
- Advantest T55xx 系列
- Advantest T53xx 系列
- NextTest Magnum 系列
- Credence Kalos 系列
- Verigy V4000 系列
- Verigy V5000 系列
- Verigy V93000 HSM 系列
- KingTiger KT2/ KT3
数字、混合信号或SoC芯片
- Teradyne Tiger 系列
- Teradyne Flex/ Ultra Flex 系列
- Teradyne J750 系列
- Teradyne Catalyst 系列
- Credence Sapphire 系列
- Credence Quartet/ Duo 系列
- Credence Sapphire D 系列
- Credence SC 系列
- Schlumberger EXA 2x00 系列
- Verigy V93000 SOC 系列
- Agilent 94000 系列
- LTX Fusion 系列
- Advantest T77xx 系列
- Advantest T2000 系列
- Advantest T65xx/ T67xx 系列
- LCD Driver
- Yokokawa TS67xx 系列
- Advantest T63xx 系列
- Spea C3320
RF射频芯片
- Credence ASL-3000 系列
- LTX Fusion-CX 系列
- Agilent 84000 系列
- Advatest T7611
- Roos Instrument 7100A
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